Samsung Galaxy Alpha набрал 38119 балла в бенчмарке AnTuTu и смог обойти такие аппараты, как HTC One (M8), Sony Xperia Z2, Galaxy S5 (Snapdragon 801), Galaxy S5 LTE-A (S805) и LG G3 (3ГБ RAM, 32ГБ). В то же время, он оказался немного слабее ещё неанонсированного Galaxy S5 LTE-A G901F с 8-ядерным процессором и занявшего второе место Oppo Find 7.
В основе Samsung Galaxy Alpha лежит чипсет Exynos 5 Octa 5430 с 4 ядрами Cortex-A15, 4 ядрами Cortex-A7, 6-ядерной графикой Mali-T628 и поддержкой 32-битной 2-канальной LPDDR3e RAM.
